技術(shù)指標(biāo)

X射線激發(fā)源：5OKV/1000μA-鎢靶X光管及高壓電源
探測(cè)器及分辨率：SDD探測(cè)器，分辨率140±5eV
定位精度：0.001mm
測(cè)量時(shí)間：10s及以上
樣品平臺(tái)移動(dòng)范圍：120mm×120mm
樣品腔升降平臺(tái)移動(dòng)高度：0～150mm

硬件

主機(jī)壹臺(tái)，含下列主要部件： 
(1)微焦斑X光管                 
(2)大面積SDD電制冷半導(dǎo)體探測(cè)器
(3)數(shù)字多道分析器
(4)超高精度三維移動(dòng)平臺(tái)
(5)全景和局部兩個(gè)工業(yè)高清攝像頭
(6)高低壓電源
(7)激光定位裝置及圖像自動(dòng)對(duì)焦技術(shù)
(8)開放式樣品腔及鉛玻璃屏蔽罩
(9)電動(dòng)調(diào)節(jié)準(zhǔn)直器
(10)防撞激光保護(hù)器

資料：儀器使用說明書（包括軟件操作說明書和硬件使用說明書）、出廠檢驗(yàn)合格證明、裝箱單、保修單及其它應(yīng)提供資料各一份。

標(biāo)準(zhǔn)附件
準(zhǔn)直孔：0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm與Ф0.3mm四種（已內(nèi)置于儀器中）